真空气氛烧结炉结构形式

真空气氛热处理炉由炉体、加热室、真空系统、充放气系统、风冷循环系统、电控系统、气动系统，水冷系统及料车组成。

工作时将装配好的工件通过料车将工件送入炉膛，然后关闭炉门，自动锁紧，通过预设程序控制抽真空、加热、冷却等整个热处理过程。

1、真空气氛炉体：

1.1真空气氛炉体采用卧式双层圆筒水冷壁结构，真空气氛烧结炉炉体上设置测温接口、真空接口、充放气接口、电极接口、风冷接口等，通过各不同规格的真空接管及法兰与真空系统、充放气系统、水冷电极等连接。炉体内安装加热室，测温热偶等。

1.2真空气氛炉炉门为双层水冷壁结构，真空气氛炉炉门的开启采用手动推拉方式。真空气氛烧结炉炉门上设观察窗，可实时观察真空气氛炉炉内加热状况。

1.3真空气氛炉体与真空气氛炉炉门之间采用梯形槽密封结构，密封圈容易更换，可保证真空气氛烧结炉的密封性能。

2 加热室

2.1加热室整体为圆筒型结构，框架为不锈钢材质。底部设有两组滑轮，用于进出真空气氛炉炉体，使炉胆便于维护和更换。

2.2保温层采用内层高温钼片结构，提高保温效果，同时也能减小高压冷却气体对加热室的损坏，延长加热室的使用寿命。

2.3加热元件采用高温钼材质加热元件，圆周分布，此布置使加热室具有温升速度快，温度均匀性好，并且加热元件使用寿命长。

2.4绝缘件采用特殊设计的95陶瓷材质。

2.5引入电极为专门设计的紫铜水冷电极。

2.6配有高温钼料盘。

3  真空气氛烧结炉真空系统：

3.1真空机组为国产旋片泵(2X-30)-罗茨泵（ZJP300）。

3.2配有高真空挡板阀门、波纹管、电磁放气阀、管路等。

3.3真空阀门均采用气动高真空挡板阀。该阀门的开启与闭合均由PLC控制，且联动互锁，断电时阀门自动关闭以保证真空气氛炉炉内真空度，避免工件氧化。

3.4真空测量采用数显真空计及配套规管，该真空计可以实现测量过程中的量程自动转换和超程保护，并具有数据输出、故障报警等多种功能。

4  充放气系统：

4.1包括各个充气阀门（自动、手动）、管路附件等，并且充气压力可调，可实现快充及分压调节。

4.2在加热过程中可以用此装置对真空气氛炉内真空度进行调节和控制，将真空度调节在设定范围内，以满足特殊材料工艺需要，防止因炉内真空度过高而造成某些低蒸汽压元素的挥发。

4.3需要强制快速冷却时打开自动阀门，即可向炉内充入冷却气体。并且可实现缓冲功能。

5  风冷循环系统：

5.1为鼓风机装置配以高效翅片紫铜管及高真空阀门、管路组成的热交换器形成内循环冷却系统。其中翅片紫铜管为整体型挤压结构，其换热效果更佳。

5.2气冷压力根据工艺需要在允许范围内调节，当炉内压力达到气冷压力的某一设定值时充气阀门将自动关闭，系统配备压力装置用以对气冷压力进行设定。在抽空和真空气氛炉室升温时充气阀门无法打开。

5.3其结构具有气流风速大，气流面积大等特点，提高工件的冷却效果，缩短工件出真空气氛炉时间，且鼓风机具有耐温耐压功能。